光刻机是晶圆生产线最为核心的生产设备，发展历程也是经过了数代的更迭。

        如果以大规模商业性应用为标准线，大体上看，十年代是接触式光刻机、接近式光刻机的时代，到七十年代光刻机设备主流更新到了投影式光刻机，八十年代更新到步进式光刻机，十年代更新到步进式扫描光刻机，新世纪初期浸入式光刻机大行其道。

        二十一世纪之后，得益于华人科学家林本坚博士的光刻胶上方加水创意，忽然获得大绝招的as以侵入式光刻机一举把日系光刻机厂商从云端打入尘埃，只用了不到几年时间就垄断了全球70的光刻机市场。

        由于光本质是波的缘故，在微观物理世界波长越短的光精度就越高，换句话说光的波长越短，在晶圆上刻下的线就越细。

        早期的摩尔定律是预言集成电路密度每年翻倍，直到1975年摩尔定律才改成未来人尽所知的每十八个月。

        根据瑞利公式cdk1na，其cd代表着曝光尺寸或者叫做光刻的最小尺寸，比如50微米、30微米什么的，甚至直接代指晶圆生产线的技术标准，k1代表着干扰降低光刻尺寸的综合因素，比如光刻胶，比如车间环境供电电压等等。

        na代表着镜头的数值孔径这玩意的学术描述比较复杂，简单的说就是na值越大透光越多分辨率越高。

        这玩意经过义务年的都知道，代表着光的波长，在公式波长越低光刻机的精度就越高。

        因此实现摩尔定律的前提就是减小k1、的数值，搞大na的数值。

        相比磨镜头这种比较坑爹见效很慢的耐心活，缩短光的波长就成了提升光刻机精度最为直接也最为优先的手段。

        早期光刻机土鳖的很，基本都是从电影摄像机上改造出来的，曝光光源也比较奇葩从光谱红外端到近紫外段用啥的都有，

        不过随着摩尔定律的生效，光源迅速从红外端向紫外端移动，镜头也迅速超越了电影镜头所要求的精度，越来越专业加工越来越难。

        时间到了八十年代，光刻机的主流光源开始使用高压汞灯，其波长为365n产业界管这玩意叫ie。

        十年代初期，光刻机的精度进入到10微米以下之后，高压汞灯所的356n波长就显得很大了，因此krf激光器成了光刻机的主流光源，其产生的248n波长的光源足够把晶圆生产线的线宽推进到纳米时代。

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